一．采购人名称 ：西湖大学光电研究院

二．单一来源编号 ： /

三．采购项目名称 ： MOCVD 场地租赁

四．采购组织类型 ：分散采购委托代理

五．采购项目概况：

（除备注外其他为必填项）

六．拟采用的采购方式 ：单一来源采购方式

七．申请理由 ：

采 购人的相关课题组已购买一台二手的 K465i MOCVD ，主要用来主要用于 4~8 寸硅基蓝、绿、红光外延片的研发，但 MOCVD 设备的运行需要一定的场地条件：如（ 1 ）超纯的危险气体和特气供应（ MOCVD 由于是 24 小时连续生长，因此需要稳定的气源，且气源的摆放也需要一定的安全资质，因此对于气源供应有很高的需求），（ 2 ）完善的尾气处理： MOCVD 设备的生长需要配套齐全的尾气处理设备，同时需要较高的单位的环评资质，（ 3 ）熟练的维护保养：待机和生长状态下， PCW 水、大泵用气、设备不间断用电、 VMB 、设备保养维修、设备消耗备件内圈和中圈加热丝更换、热氮柜及石墨盘烤炉都需要配套。国企龙头中国电子信息产业集团有限公司旗下中电化合物半导体有限公司深耕氮化镓领域多年，能够使用 MOCVD 稳定生长氮化镓的射频及深紫外器件。不仅能够提供以上稳定可靠的气源供应及尾气处理，而且配备齐全的维护保养措施，包括设备开关机、操作员 24 小时取放片、生长操作、常规测试、更换 MO 源、石墨盘烤盘、设备定时清理腔体 PM 、更换过滤器、异常排查解决等等。

鉴于上述原因，特申请以单一来源方式采购 MOCVD 场地租赁。

八．拟定供应商：

1 、拟定供应商名称

中电化合物半导体有限公司

2 、拟定供应商地址

宁波前湾新区数字产业园 B 区 14 号楼

九．论证专业人员信息及意见：

专业人员对供应商因专利、专有技术等原因具有唯一性的具体论证意见

近几年氮化镓器件市场研发聚焦于 6 寸甚至 8 寸硅基氮化镓 LED 外延，国内进行 6/8 寸硅基氮化镓外延生长的企业和高校非常少，考虑到该项目对于硅基的氮化镓芯 片集成研究意义，采用中电化合物半导体有限公司的 MOCVD 场地租赁不仅在价格上具 备一定优势，而且在服务上也能全面满足研发需求。同时考虑到该场地同时已被北京大学宽禁带氮化镓技术团队进行氮化镓器件研发并取得很好的效果，因此同意该单一来源采购。

综上，专家组经讨论评议，一致建议：以单一来源采购方式采购 MOCVD 场地租赁。

十．其它事项：

供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（本公示发布之日后的第 5 个工作日），以书面形式向采购人或代理机构提出异议。

十一．联系方式

采购人名称：西湖大学光电研究院

联系人：王老师

联系电话： 0571-63366772

地址：杭州市富阳区江南路 68 号 8 楼

代理机构名称：浙江省国际技术设备招标有限公司

联系人：崔婧萱

联系电话： 0571-85864298

地址：杭州市凤起路 334 号同方财富大厦 14 层